石墨制品用于真空炉石墨部件的防护方法

 用于石墨制品真空炉石墨部件的防护方法
    本发明触及一种用于石墨制品真空炉石墨部件的防护方法，该防护方法包括:
    1)对真空炉石墨部件进行抛光打磨,使石墨制品真空炉石墨部件的表面粗糙度抵达0.5mm以下；
    2)将抛光打磨后的真空炉石墨部件放入CVD炉内；
    3)设定CVD炉内的温度和压力，向CVD炉内通入甲烷和氮气或许通入三氯化硼，氨气和惰性气体，毕竟在石墨部件表面堆积一层热解石墨涂层或热解氮化硼涂层。
    本发明经过在真空炉石墨部件表面涂覆一层热解石墨或热解氮化硼涂层，一方面可以防止石墨粉尘蒸腾出来污染反应腔室，然后行进产品的纯净度；另一方面可以保护真空炉石墨部件，延伸真空炉石墨部件的使用寿命，下降企业本钱。