单晶石墨热。瘸。叽渴瘸。嗑瘸。氲继迨瘸。谑瘸。瘸∩Ъ
单晶石墨热场的关键部件
石墨坩埚：通常采用三瓣式规划，避免硅液走漏，使用寿命可达30-50炉次。
加热器：由等静压石墨制成，支持2000℃以上安稳加热，为单晶生长供给充足热能。
隔热体系：由多层石墨毡或碳纤维复合材料构成，热反射率≥90%，可降低能耗20%-30%。
导流筒：优化热场气流分布，提高热场均匀性。
保护部件：在炉底、金属电极、托杆等位置设置保护板或保护套，避免漏硅及机械损伤。
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